마루엘엔씨

기술/사업소개

주)마루엘앤씨는 공정 장비, 첨단 제조 기술, 시스템 엔지니어링을 중심으로 한 기술 사업을 전개합니다.
기술 분석부터 설계·구현까지 통합 솔루션을 제공하여 고객 공정에 최적화된 기술을 적용합니다.

· 초고진공(UHV) 환경에서 원자 단위로 박막을 정밀하게 증착하는 첨단 기술입니다.
· 10⁻⁹ Torr 수준의 극한 진공 상태에서 작업하여 최고 수준의 순도와 품질을 보장합니다.

- MBE System의 개발 및 제작을 진행 중입니다.

[ 현재 보유 중인 MBE System ]

· Materials : GaAs Based, GaSb Based, ZnO Based, GaN Based
· Structure : Electric Device, Optical Device
· Customized device structure for orders.

GaSb Buffer Layer

RHEED Patterns of InGaSb/InAs Superlattice

InAs QD/GaAs

ZnO LED

ZnO TCO